一台国产离子注入机性能再好,晶圆厂也“不敢用”;一根国产CT球管即将出海与国际巨头掰手腕,却怕术中故障引发天价索赔;一家具身智能初创企业坚持先跑通底层范式,最怕资本催着“早产变现”——高端制造的突围,往往不只卡在技术,更卡在风险与耐心。
补上这一环的,是保险业。
近日,21世纪经济报道记者走访超群检测、苏度科技、凯世通三家硬科技企业发现,从首台(套)保险的信用杠杆,到“又投又保”的投保联动,再到不催短期订单的耐心资本,保险资金与风险保障正贯穿科创企业全生命周期,成为硬科技穿越“死亡之谷”的关键变量。
在集成电路装备谱系里,离子注入机与光刻机、刻蚀机并列为三大关键装备,是制备芯片基本单元——PN结的关键设备,可以说没有离子注入,就无法完成芯片制造。
全球半导体设备市场约1070亿美元,离子注入机占约5%,中国大陆约占1/3份额,对应离子注入机市场规模超100亿元人民币,但应用材料、Axcelis合计占近90%市场份额,国产化率不足10%。
然而,技术突破并不等同于商业准入,率先实现国产化的凯世通仍面临信任死结。
凯世通董事会秘书尹超在接受记者采访时表示,离子注入后器件性能难以马上验证,要等芯片流程完毕后测试电性能,而芯片要走上千道工序、3个月以上才出结果,注入机内部改性不可现场在线检测,只能等整片芯片做完才知PN结性能。
这种"黑盒"式的长周期验证,让晶圆厂对国产新装备天然谨慎。晶圆厂采购国产首台(套)设备,承担的是“万一出问题、晶圆报废”的潜在风险。近年来半导体供应链外部不确定性上升,自主创新需求持续增强,但下游客户的验证顾虑并未自动消解。
“用户‘不敢用’是高端国产装备推广‘最后一公里’的痛点。”凯世通董事会秘书尹超坦言。
成立于2009年的凯世通跑得不慢。成立后,凯世通依托国家专项“十年磨一剑”,于2019年完成先进产线关键技术验证;2020年实现国内12英寸逻辑线0到1的突破;2021年至今累计交付超55台12英寸设备,过货量超2000万片。
纵使如此,用户顾虑仍需外部增信化解。
破题的工具是首台(套)重大技术装备保险。凯世通入选工信部首台(套)重大技术装备目录后,中国人寿财险上海市分公司独家承保凯世通低能大束流离子注入机首台(套)保险,风险保障金额超6亿元。
中国人寿财险公司责意健保险部高级经理李鑫表示,工信部、财政部、国家金融监督管理总局联合推出保险补偿机制,核心目的是通过金融手段激励装备制造业攻克“卡脖子”技术,推动国产装备从“首台突破”走向“批量应用”。
中国人寿财险上海分公司责意/信保/科技金融部总经理陈宇霞表示,依托工信部、财政部、国家金融监督管理总局联合推出的首台套重大技术装备保险补偿机制,财政最高补贴80%保费,破解“国产设备无大规模验证→用户不敢采购→产业化受阻”的循环。
凯世通副总经理张长勇也指出,从技术成熟度看,高端国产半导体装备已具备大规模量产条件,亟需进入先进工艺线验证。金融保险可通过创新产品补位“信心缺口”,加速自主创新进程。
如果说凯世通的断层在用户端,超群检测的断层则移向产品端与全球市场。
超群检测的无尘装配车间里,CT球管与DSA(血管造影)球管正在接受超高真空除气检测。
作为医学影像设备产生X射线的核心源头,球管因工艺复杂、技术封锁严重,长期位列我国医疗器械进口替代清单的核心位置,而医疗器械的国产突围,往往面临着比一般工业品更高维的风险审判。
中国现有约5万台装机CT,年均更换球管约2万根,90%以上依赖进口(GPS、万睿视、佳能等)。
作为全球第六大、中国第一大CT球管供应商,超群检测的高端CT球管已进入量产爬坡期,技术难度更高的DSA球管也在今年6月取得NMPA注册证,取证后即可直接与国际巨头(飞利浦等)在全球市场竞争。
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